기판 상하면 전체의 CUPPER 두께를 편차없이 일정량 정밀하게 부식하는 장비입니다.

공정은 투입 – 워터커텐 – 하프에칭 – 수세 - 황산세 – 수세 - 초음파수세(선택공정) – 램젯 – 열풍건조 – 배출 로 구성되어있습니다.

하프 에칭 챔버 상부에 프리에칭 포스트에칭이 내장되어있으며 디지털 설정 압력계 장착으로 스프레이 설정 압력으로 자동보정되어져 동 두께 6마이크론 부식 시 기판 상하면 포함 부식편차 0.3마이크론 이내로 부식되어집니다.    

시트 롤투롤 겸용 장비로서 시트 0.04t (TOTAL) 무 아대 FLEXIBLE , RIGID 기판을 생산합니다.